近几年来，以美国为首的西方国家，担心中国的快速发展，威胁美国在高科技领域的领导地位，通过禁运、封锁，企图遏制我国在半导体领域的发展。但以上海微电子为代表的众多国内公司，用实际行动在一定程度上打破了光刻设备的封锁，点燃了国产光刻机制造的星星之火。各种智能设备...

摘要芯片的生产与光刻机的精度息息相关，除了光刻机的精度外，多次曝光工艺也可以进一步提高芯片......